Carbon nanotubes growth by chemical vapor deposition using thin film nickel
catalyst
Material Science and Engineering B 112 (2004) 147 – 153
S.A. Moshkallyov, A.L.D. Moreau, H.R.Guttierrez, M.A. Cotta, J.W.Swart
- Apa yang menjadi Research Problem
Bagaimana perbandingan gambaran penumbuhan CNT menggunakan metodeCatalytic CVD dengan dua teknik berbeda, yaitulow-pressure plasma-enhanced dan atmospheric pressure thermal CVD, dimana analisis permukaan
menggunakan atomic force microscopy.
- Apa tujuan penelitian dilakukan
Bagaimana perbandingan gambaran penumbuhan CNT menggunakan metodeCatalytic CVD dengan dua teknik berbeda, yaitu low-pressure plasma-enhanced dan atmospheric pressure thermal CVD, dimana analisis permukaan
menggunakan atomic force microscopy.
- Apa batasan/asumsi penelitian yang dilakukan
1. Pada tehnik low-pressure plasma-enhanced CVD menggunakan gas nitrogen-acetylene, Radio Frekuensi 2.45 GHz, Tekanan gas 1,5
Torr, jumlah aliran gas 150-200 sccm. Tempat sampel dipanasi menggunakan
lampu halogen dibawah temperatur 500-600oC. Waktu penumbuhan
bervariasi antara 10-30 menit.
2. Pada teknik atmospheric pressure thermal CVD menggunakan gas methane, hidrogen dan nitrogen/ammonia. Aliran
gas methane 30-150 sccm dan total aliran gas 300-500 sccm. Sebelum
penumbuhan, sampel dibersihkan menggunakan hidrogen selama 10-30
menit.
3. Logam Ni sebagai katalis dengan ketebalan 1-50 nm yang menempel diatas
substrat Si, dan sampel dianneling menggunakan nitrogen
bertemperatur 740oC selama 15-45 menit.
- Apa hipotesa awal yang diajukan
- Apakah hipotesa tersebut ditolak atau diterima
- Apa kesimpulan secara umum
Analisis AFM permukaan katalis nikel menunjukkan bahwa temperatur dan waktu
proses yang lama sebanding dengan ukuran partikel dan lebar distribusi yang
terbentuk.
- Apa yang dapat dilakukan untuk penelitian lanjutan
Penulis (S.A.Moshkalyov, dkk) akan melanjutkan penelitian mereka mengenai
sistensis CNT menggunakan partikel katalis dengan metode yang berbeda untuk
menghasilkan distribusi yang lebih sempit.
- Apa yang harus anda lakukan jika akan melakukan penelitian lanjutan
Penumbuhan CNT pada temperatur 900oC dengan metode thermal CVD menggunakan gas methane dan katalis Ni
menghasilkan CNT yang panjang dan kuat. Sehingga jika saya akan melanjutkan
penelitian ini, akan membuat hal yang sama dengan katalis yang berbeda.
Jenis katalis yang biasa digunakan adalah jenis logam transisi, dalam hal
ini akan mencoba menggunakan Fe dan Cu, yang memiliki jari jari berturut
turut lebih kecil dan lebih besar dari jari jari atom Ni. Dengan asumsi
bahwa ukuran atom partikel katalis mempengaruhi ukuran